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碳化硅加熱元件的電性能和使用--《微細(xì)加工技術(shù)》年期長(zhǎng)沙)摘要本文介紹碳化硅加熱元件的電特性、表面負(fù)荷以及工作氣氛對(duì)它的影響,并對(duì)它設(shè)計(jì)和使用要點(diǎn)舉例予以說(shuō)明。關(guān)鍵詞:碳化硅加熱元件;電特性;表面負(fù)荷;氣氛。

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